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20世紀60年代提出了超精密零件加工技術(shù)。 它是提高機電產(chǎn)品性能，質(zhì)量，使用壽命和可靠性以及節能能力的重要途徑。 超精密零件加工是指加工誤差小于0.1m，表面粗糙度。 加工技術(shù)小于Ra0.025Ixm，又稱(chēng)亞微米加工，超精密零件加工技術(shù)水平是國家制造業(yè)水平的重要標志之一。
除了液壓和氣動(dòng)源的波動(dòng)外，工作環(huán)境對加工質(zhì)量有很大影響。 因此，工作環(huán)境是確保加工質(zhì)量的必要條件。 工作環(huán)境主要有溫度，凈化和抗振動(dòng)要求。 環(huán)境溫度變化對機床精度的影響尤為顯著(zhù)。 由包括環(huán)境溫度變化在內的熱因素引起的加工誤差占總加工誤差的（40 70）％。 灰塵的混合會(huì )導致工件表面劃傷并影響表面質(zhì)量。 如果在加工過(guò)程中發(fā)生振動(dòng)，加工表面上會(huì )出現條紋或條紋痕跡，這會(huì )導致表面光潔度顯著(zhù)下降。
隨著(zhù)超精密零件加工的精度要求越來(lái)越高，對加工環(huán)境的要求也越來(lái)越嚴格。 僅從供給壓力，環(huán)境溫度變化，外部和自振動(dòng)的波動(dòng)，影響超精密加工的精度，分析其影響。 超精密加工精度的因素是多種多樣的。 為了提高超精密加工的精度，不僅要了解影響它的因素，還要了解解決方案。